POLOS系列沖洗甩乾機濕法刻蝕又稱為濕化(huà)學(xué)刻蝕法 。它主要是借助刻蝕劑(jì)與待刻材料之間的化(huà)學(xué)反應(yīng)將待刻膜(mó)層溶解 ，以(yǐ)達到刻蝕的目的。濕法刻蝕一般被用於工藝流程前(qián)面的晶圓(yuán)片準備、清(qīng)洗等不涉及圖形的環節
OLOS系列沖洗甩乾機
適用工藝(包括但不限於下述濕法制程)
光刻膠顯影
SU8厚膠顯影
顯影後清(qīng)洗
光刻機去除(chú)
刻蝕微刻蝕處理
OLOS系列沖洗甩乾機
系統參數表
| POLOS 200 Advanced | POLOS 300 Advanced | POLOS 450 Advanced |
程序(xù)段數 ： | 無(wú)限制 | 無(wú)限制 | 無(wú)限制 |
操作步數： | 無(wú)限制 | 無(wú)限制 | 無(wú)限制 |
旋(xuán)轉速度： | 0-12,000rpm ±1rpm steps | 0-12 ,000rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps |
旋(xuán)轉精度 ： | ± 0.1 rpm | ± 0.1 rpm | ± 0.1 rpm |
旋(xuán)轉方向: | 順時針 、逆時針、交換擺動 | 順時針，逆時針 、交換擺動 | 順時針，逆時針 、交換擺動 |
zui大加速度 | 30,000 rpm/sec | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm時取決於負載 |
旋(xuán)轉時間 ： | 無(wú)限制* , ± 0.1S steps | 無(wú)限制*, ± 0.1S steps | |
基片範圍: | 260mm 直徑or 6ʺ 方片 | 360mm 直徑or 8ʺ 方片 | 460 mm直徑or350mm方片 |
腔體直徑： | 302 mm | 402 mm | 502mm |
外形尺寸 ： |
OLOS系列沖洗甩乾機
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