日(rì)本新宇(yǔ)宙半(bàn)導(dǎo)體材料氣體檢(jiǎn)測儀(yí) ，應用行(xíng)業(yè) ：半(bàn)導(dǎo)體製造 檢(jiǎn)測方式 ：自動吸引式 檢(jiǎn)測原理(lǐ) 熱線(sī)型(xíng)半(bàn)導(dǎo)體式
日(rì)本新宇(yǔ)宙半(bàn)導(dǎo)體材料氣體檢(jiǎn)測儀(yí)
特點(diǎn)
● 小型(xíng)·輕量(liàng)
● 可以檢(jiǎn)查非常(cháng)微量(liàng)的氣體洩(xiè)漏
● *適合(hé)氫氣相關設(shè)備的保(bǎo)安
● 搭載的泵有自動停止功能
● 搭載[自動氣體排(pái)氣模(mó)式]功能
● 保(bǎo)護等級約為IP22（JIS C 0920）※安裝皮套時
02.產品用途
● 半(bàn)導(dǎo)體工廠(chǎng)/石(shí)油化(huà)學工廠(chǎng)等
● 在使(shǐ)用半(bàn)導(dǎo)體材料氣體/毒性氣體的現場進(jìn)行(xíng)洩(xiè)漏檢(jiǎn)測
日(rì)本新宇(yǔ)宙半(bàn)導(dǎo)體材料氣體檢(jiǎn)測儀(yí)
產品參(cān)數
型(xíng)號 | XP-703DⅢ |
檢(jiǎn)測對象(xiàng)氣體 | H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3 |
檢(jiǎn)測原理(lǐ) | **型(xíng)半(bàn)導(dǎo)體式 |
採集方式 | 自動吸引式 |
可檢(jiǎn)測洩(xiè)漏量(liàng) | H2 ：5.07×10-7 、AsH3 ：2.53×10-7 、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
可檢(jiǎn)測濃度 | H2 ：5.07×10-7、AsH3 ：2.53×10-7 、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3：1.52×10-7 |
反應時間 | 10秒以內 |
顯示方式 | 液晶數字（手動背景燈） |
電(diàn)源（額定） | 5號鹼性乾電(diàn)池（LR6） 2節 |
電(diàn)池使(shǐ)用時間※1 | 約12小時（5號鹼性乾電(diàn)池 、25℃時） |
保(bǎo)護等級※2 | 相當於IP22※3 |
使(shǐ)用壓力範圍 | 大氣壓（800～1100kpa） |
使(shǐ)用溫濕度範圍 | 0～40℃/85%RH以下(xià)（但不能結(jié)露） |
外形尺(chǐ)寸 | W38×H130×D32㎜（突(tū)出部分除外） |
重量(liàng) | 約190g（包(bāo)括電(diàn)池、皮套） |
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