掃描型膜厚測(cè)試儀全(chéng)自動 ，超快速 ，高精准等膜厚表徵繪制和膜厚塗(tú)覆的光學特(tè)性，利用光學反射(shè)方(fāng)法來測(cè)量和自動分析(xī)薄膜塗(tú)層的表徵 。
掃描型膜厚測(cè)試儀
是簡(jiǎn)潔易操作的台(tái)式膜厚儀，適(shì)用於在大尺寸基(jī)板上的薄膜和塗(tú)層上，利用光學反射(shè)方(fāng)法來測(cè)量和自動分析(xī)薄膜塗(tú)層的表徵 。
掃描型膜厚測(cè)試儀
膜厚儀是可通過測(cè)定放置在真(zhēn)空托(tuō)盤(pán)上的任何大小的半導體晶圓(yuán)片(piàn)，快速計(jì)算出其厚度 、折射(shè)率 、均勻(yún)性 、顏色(sè)等參(cān)數。
膜厚儀的光學掃描系統，採用一(yī)套*又可配套的光譜儀，集成白熾和LED混合的光源，以及其他光學部件。在本系統設計(jì)中沒有任何彎曲或移動探針。因此，在精確度 、重(zhòng)復(fù)性和長期性方(fāng)面(miàn) ，光纖(xiān)具有優異的性能(néng) 。確保系統結果輸出的穩定性。此外光源的特(tè)殊設計(jì)提供極長壽命 ，可達10000小時(shí)以上 。
系統參(cān)數 | FR-Scanner-E VIS/NIR | FR-Scanner-F VIS/NIR | FR-Scanner-F VIS |
樣(yàng)片(piàn)尺寸 | 晶圓(yuán)片(piàn): 2in-3in-4in-6in-8in. 不(bù)規則樣(yàng)片(piàn)等 | ||
R向(xiàng)分辨精度 | 10μm | 5μm | 5μm |
角度分辨精度 | 0.2° | 0.1° | 0.1° |
光斑大小 | 500μm (直徑): 反射(shè)的區域(yù) | ||
zui小膜厚 | 100nm | ||
光譜範圍 | 350nm - 1100nm | 350nm - 1100nm | 550nm – 900nm |
光譜儀參(cān)數 | 3648 pixels | ||
光源平均使用壽命 | 10000小時(shí) | ||
膜厚範圍 | 20nm-90μm | 20nm-90μm | 100nm-190μm |
測(cè)量分辨率 | <0.1nm | 0.06nm | 0.06nm |
測(cè)量穩定範圍 | <0.1nm | 0.06nm | 0.06nm |
測(cè)量精度 | 1nm | 1nm | 1nm |
掃描速率 | 200meas/min 5points: 6sec 25points: 15sec | 625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec | 625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec |
通訊(xùn)接口 | USB 2.0 / USB 3.0. Any PC running Windows 7/8/10 64bit. | ||
尺寸 | 485W x 457L x 500H mm | ||
功率要求 | 110V/230V, 50-60Hz , 300Watts | ||
重(zhòng)量 | 23kg | 40kg | 40kg |
*附件選項
電腦 ：PC with 19inch screen
對焦模塊：光學模塊附帶(dài)250um直徑光斑大小的反射(shè)探針
泵浦 ：樣(yàng)品放置用的高級無油(yóu)真(zhēn)空泵浦
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