半導體式氣體傳感(gǎn)器是根(gēn)據由(yóu)金屬(shǔ)氧化物或金屬(shǔ)半導體氧化物材料制(zhì)成的檢測元件 ，與氣體相互作用時產(chǎn)生(shēng)表面吸(xī)附或反(fǎn)應(yīng) ，引起載(zài)流子運動為特徵的電(diàn)導率或伏安(ān)特性或表面電(diàn)位變化而(ér)進**體濃度測量的 。從作用機(jī)理上(shàng)可(kě)分為表面控制(zhì)型（採用氣體吸(xī)附於(yú)半導體表面而(ér)產(chǎn)生(shēng)電(diàn)導率變化的敏(mǐn)感(gǎn)元件）、表面電(diàn)位型（採用半導體吸(xī)附氣體後(hòu)產(chǎn)生(shēng)表面電(diàn)位或界面電(diàn)位變化的氣體敏(mǐn)感(gǎn)元件）、體積控制(zhì)型（基於(yú)半導體與氣體發生(shēng)反(fǎn)應(yīng)時體積發生(shēng)變化，從而(ér)產(chǎn)生(shēng)電(diàn)導率變化的工作原理）等。可(kě)以(yǐ)檢測百分比濃度的可(kě)燃氣體，也可(kě)檢測ppm級(jí)的有毒有害氣體
。具有結構簡單、檢測靈敏(mǐn)度高 、反(fǎn)應(yīng)速度快(kuài)等諸多實用性優點
，但其主要不(bù)足是測量線性範圍較小(xiǎo) ，受(shòu)背景氣體干擾較大，易受(shòu)環境溫(wēn)度影響等 。